다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2016-0025808 (2016-03-03) | |
| 공개번호 | 10-2017-0104042 (2017-09-14) | |
| 등록번호 | 10-1862085-0000 (2018-05-23) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020160025808 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 심사청구여부 | 있음 (2016-12-20) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은, 하우징과 상기 하우징의 일측에 결합되어 비활성 기체를 기판 상부측으로 공급하는 탈산소 모듈을 포함하여 구성되어, 상기 기판 상부측의 산소 농도를 일정하게 유지하기 위한 ELA 공정용 탈산소 장치로서, 상기 탈산소 모듈은 비활성 기체 주입구가 형성된 커버 플레이트와, 상기 커버 플레이트와 면접하여 결합되는 제1플레이트와, 비활성 기체의 확산로가 구비된 제2플레이트와, 외주면에 스크루 관로가 구비된 다수개의 스크루 관로 및 상기 비활성 기체를 혼합하는 제1공간부 및 상기 기판 상부측으로 상기 비활성 기체를 공급하도록 형성된
하우징과, 상기 하우징의 일측에 결합되어 비활성 기체를 기판 상부측으로 공급하는 탈산소 모듈을 포함하여 구성되어, 상기 기판 상부측의 산소 농도를 일정하게 유지하기 위한 ELA 공정용 탈산소 장치에 있어서,상기 탈산소 모듈은,비활성 기체 주입구가 형성된 커버 플레이트;상기 커버 플레이트와 면접하여 결합되는 제1플레이트;상기 제1플레이트와 면접하여 결합되고, 상기 비활성 기체 주입구와 연통되어, 주입된 상기 비활성 기체가 확산되는 확산로가 구비된 제2플레이트;상기 커버 플레이트에 헤드부가 결합되고, 외주면에 스크루 관로가 구비되며,
해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.