초록 ▼

본 발명은, 기판 상으로 조사되는 레이저 빔의 길이를 조절하는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈로서, 상기 레이저 빔의 진행 방향에 대해 수직으로 배치되며, 내부에 냉매를 포함하는 냉각 수단을 구비하는 레이저 빔 커터와, 상기 레이저 빔 커터의 일측에 형성되어, 상기 냉각 수단 내부로 상기 냉매를 순환공급시키는 냉매공급부와, 상기 냉각 수단의 온도를 검출하는 검출부와, 상기 냉매의 온도 및 유량을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈을 기술적 요지로 한다.이를 통해, 본 발명은, ELA 공정 중,

본 발명은, 기판 상으로 조사되는 레이저 빔의 길이를 조절하는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈로서, 상기 레이저 빔의 진행 방향에 대해 수직으로 배치되며, 내부에 냉매를 포함하는 냉각 수단을 구비하는 레이저 빔 커터와, 상기 레이저 빔 커터의 일측에 형성되어, 상기 냉각 수단 내부로 상기 냉매를 순환공급시키는 냉매공급부와, 상기 냉각 수단의 온도를 검출하는 검출부와, 상기 냉매의 온도 및 유량을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈을 기술적 요지로 한다.이를 통해, 본 발명은, ELA 공정 중, 레이저 빔의 길이 조절 시 발생되는 레이저 빔 커터의 열을 억제함으로써 레이저 빔 길이의 균일도를 확보함으로써, 기판의 무라 발생 현상을 개선할 수 있으며, 상기 냉매공급부와 검출부 및 제어부를 통해 레이저 빔 커터의 온도를 효과적으로 조절할 수 있는 이점이 있다.또한, 레이저 빔 커터에 의해 레이저 빔의 길이가 조절되는 부분의 온도를 국부적으로 조절함으로써 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.

대표청구항 ▼

기판 상으로 조사되는 레이저 빔의 길이를 조절하는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈에 있어서,상기 레이저 빔의 진행 방향에 대해 수직으로 배치되며, 내부에 냉매를 포함하는 냉각 수단을 구비하는 레이저 빔 커터;상기 레이저 빔 커터의 일측에 형성되어, 상기 냉각 수단 내부로 냉매를 순환공급시키는 냉매공급부;상기 냉각 수단의 온도를 검출하는 검출부; 및상기 검출부에 의해 검출된 상기 냉각 수단의 온도로부터 상기 냉매공급부에서 순환공급되는 냉매의 온도 및 유량을 제어하는 제어부;를 포함하여 구성되고,상기 냉각 수단은 내부에 상기 냉매가

기판 상으로 조사되는 레이저 빔의 길이를 조절하는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈에 있어서,상기 레이저 빔의 진행 방향에 대해 수직으로 배치되며, 내부에 냉매를 포함하는 냉각 수단을 구비하는 레이저 빔 커터;상기 레이저 빔 커터의 일측에 형성되어, 상기 냉각 수단 내부로 냉매를 순환공급시키는 냉매공급부;상기 냉각 수단의 온도를 검출하는 검출부; 및상기 검출부에 의해 검출된 상기 냉각 수단의 온도로부터 상기 냉매공급부에서 순환공급되는 냉매의 온도 및 유량을 제어하는 제어부;를 포함하여 구성되고,상기 냉각 수단은 내부에 상기 냉매가 이동하는 냉각 유로로 구현되고,상기 냉각 유로는, 상기 레이저 빔 커터의 일측에 냉매의 인입구와 인출구가 형성되어 상기 냉매공급부와 연결되고, 상기 레이저 빔 커터의 길이 방향에 대해 평행한 'U'자관 형태로 형성되고, 내부에 금속재질의 방열판이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 ELA 공정용 레이저 빔 조절 모듈.