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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0048140 (2016-04-20) | |
공개번호 | 10-2017-0119893 (2017-10-30) | |
등록번호 | 10-1908277-0000 (2018-10-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160048140 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-04-20) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 출원은 다층 필름, 이를 포함하는 소자, 상기 다층 필름의 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서, 본 출원의 다층 필름에 의하면, 기재층 및 무기층을 포함하며, 롤-투-롤 방식의 원자층 증착법에 의하여 상기 무기층을 형성하는 경우, 물 대신에 특정 유기 전구체를 사용함으로써 보다 용이하게 무기층을 형성할 수 있으며, 나아가 본 출원의 다층 필름에 의하면, 유기 전구체를 사용하더라도 층 내부에 탄소 성분이 존재하지 않는 무기층을 형성할 수 있으므로, 무기층의 고유한 전기적 성질이 유지될 수 있다.
기재층; 및기재층의 일면에 직접 형성되고, 제1금속전구체 및 화학식 1로 표시되는 제2전구체로부터 유도되는 금속 산화물로 구성되는 무기층을 포함하며,기재층은 수분 또는 산소와 반응성을 갖는 반응성 기재층이고,반응성 기재층은 실리콘, 망간, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 니켈 및 크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하거나, 반응성 기재층은 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하며,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를
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