초록

본 출원은 다층 필름, 이를 포함하는 소자, 상기 다층 필름의 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서, 본 출원의 다층 필름에 의하면, 기재층 및 무기층을 포함하며, 롤-투-롤 방식의 원자층 증착법에 의하여 상기 무기층을 형성하는 경우, 물 대신에 특정 유기 전구체를 사용함으로써 보다 용이하게 무기층을 형성할 수 있으며, 나아가 본 출원의 다층 필름에 의하면, 유기 전구체를 사용하더라도 층 내부에 탄소 성분이 존재하지 않는 무기층을 형성할 수 있으므로, 무기층의 고유한 전기적 성질이 유지될 수 있다.

대표청구항 ▼

기재층; 및기재층의 일면에 직접 형성되고, 제1금속전구체 및 화학식 1로 표시되는 제2전구체로부터 유도되는 금속 산화물로 구성되는 무기층을 포함하며,기재층은 수분 또는 산소와 반응성을 갖는 반응성 기재층이고,반응성 기재층은 실리콘, 망간, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 니켈 및 크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하거나, 반응성 기재층은 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하며,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를

기재층; 및기재층의 일면에 직접 형성되고, 제1금속전구체 및 화학식 1로 표시되는 제2전구체로부터 유도되는 금속 산화물로 구성되는 무기층을 포함하며,기재층은 수분 또는 산소와 반응성을 갖는 반응성 기재층이고,반응성 기재층은 실리콘, 망간, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 니켈 및 크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하거나, 반응성 기재층은 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하며,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하고,제2전구체는 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,4-부탄디싸이올, 1,5-펜탄디싸이올 및 1,6-헥산디싸이올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하는 태양전지용 다층 필름:[화학식 1]H-Y-X-Y-H화학식 1에서,X는 탄소수 4 내지 6의 알킬렌이고,Y는 산소를 나타내며,H는 수소이다.