초록

분광 광도계를 이용한 필름-두께 분석 제공 방법은 발광체가 기재 표면상에 적층된 필름에 광속을 방출하는 단계, 선형 센서가 굴절률 분포형 렌즈 및 선형 가변 필터를 통해 기재 표면 상에 적층된 필름에서 반사되는 빛을 수용하는 단계, 및 처리기가 선형 센서로부터 수용된 필름의 분광 반사율에 기초하여 필름 두께를 결정하는 단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

기재 표면에 인접하게 위치한 발광체가 상기 기재 표면 상에 적층된 제1 필름에 광속을 방사하도록 구성하는 단계;굴절률 분포형 렌즈 및 제1 선형 가변 필터를 통해 제1 선형 센서가 상기 기재 표면 상의 상기 적층된 제1 필름에서 반사된 빛을 수용하도록 구성하는 단계;처리기가 상기 제1 선형 센서로부터 수용된 필름의 분광 반사율을 기초로 필름 두께를 결정하도록 구성하는 단계;제2 발광체가 상기 제1 필름 상에 배치된 제2 필름에 광속을 방사하도록 구성하는 단계; 제2 굴절률 분포형 렌즈 및 제2 선형 가변 필터를 통해 상기 제1 선형

기재 표면에 인접하게 위치한 발광체가 상기 기재 표면 상에 적층된 제1 필름에 광속을 방사하도록 구성하는 단계;굴절률 분포형 렌즈 및 제1 선형 가변 필터를 통해 제1 선형 센서가 상기 기재 표면 상의 상기 적층된 제1 필름에서 반사된 빛을 수용하도록 구성하는 단계;처리기가 상기 제1 선형 센서로부터 수용된 필름의 분광 반사율을 기초로 필름 두께를 결정하도록 구성하는 단계;제2 발광체가 상기 제1 필름 상에 배치된 제2 필름에 광속을 방사하도록 구성하는 단계; 제2 굴절률 분포형 렌즈 및 제2 선형 가변 필터를 통해 상기 제1 선형 센서와 다른 위치에 있는 제2 선형 센서가 상기 제1 필름 상에 배치된 상기 제2 필름에서 반사된 빛을 수용하도록 구성하는 단계; 및 상기 처리기가 상기 제2 선형 센서로부터 수용된 상기 제2 필름의 분광 반사율을 기초로, 상기 제2 필름 두께를 결정하도록 구성하는 단계;를 포함하는 분광 광도계를 이용한 필름-두께 분석 제공 방법으로서,상기 제1 선형 센서는 기재에 인접하게 위치하고, 상기 굴절률 분포형 렌즈는 상기 기재 표면에서 반사되는 상기 광속의 광학 통로에 놓이고, 상기 기재 표면 및 상기 제1 선형 가변 필터 사이에 위치하고, 상기 제1 선형 가변 필터는 상기 기재 표면에서 반사되는 빛의 광학 통로에 놓이고, 상기 제1 선형 센서 및 상기 굴절률 분포형 렌즈 사이에 위치하고,상기 제2 선형 센서는 상기 기재에 인접하게 위치하고, 상기 제2 굴절률 분포형 렌즈는 상기 제1 필름 표면에서 반사되는 빛의 광학 통로에 놓이고, 상기 제1 필름의 표면 및 제2 선형 가변 필터 사이에 위치하고, 상기 제2 선형 가변 필터는 상기 제1 필름의 표면에서 반사되는 상기 광속의 상기 광학 통로에 놓이고, 상기 제2 선형 센서 및 상기 제2 굴절률 분포형 렌즈 사이에 위치하고,상기 제1 선형 가변 필터는 통과대역 코팅물을 가지는 광학 필터이고 상기 통과대역 코팅물의 특성은 상기 제1 선형 가변 필터의 길이에 따라 달라져 상기 제1 선형 가변 필터의 길이를 따라 선형적으로 상기 제1 선형 가변 필터의 중심 파장을 옮기고(shift), 및상기 제2 선형 가변 필터는 통과대역 코팅물을 가지는 광학 필터이고 상기 통과대역 코팅물의 특성은 상기 제2 선형 가변 필터 길이에 따라 달라져 상기 제2 선형 가변 필터의 길이를 따라 선형적으로 상기 제2 선형 가변 필터의 중심 파장을 옮기는 방법.