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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0066620 (2016-05-30) | |
공개번호 | 10-2016-0150004 (2016-12-28) | |
등록번호 | 10-2355922-0000 (2022-01-21) | |
우선권정보 | 미국(US) 14/743,491 (2015-06-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160066620 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
분광 광도계를 이용한 필름-두께 분석 제공 방법은 발광체가 기재 표면상에 적층된 필름에 광속을 방출하는 단계, 선형 센서가 굴절률 분포형 렌즈 및 선형 가변 필터를 통해 기재 표면 상에 적층된 필름에서 반사되는 빛을 수용하는 단계, 및 처리기가 선형 센서로부터 수용된 필름의 분광 반사율에 기초하여 필름 두께를 결정하는 단계를 포함한다.
기재 표면에 인접하게 위치한 발광체가 상기 기재 표면 상에 적층된 제1 필름에 광속을 방사하도록 구성하는 단계;굴절률 분포형 렌즈 및 제1 선형 가변 필터를 통해 제1 선형 센서가 상기 기재 표면 상의 상기 적층된 제1 필름에서 반사된 빛을 수용하도록 구성하는 단계;처리기가 상기 제1 선형 센서로부터 수용된 필름의 분광 반사율을 기초로 필름 두께를 결정하도록 구성하는 단계;제2 발광체가 상기 제1 필름 상에 배치된 제2 필름에 광속을 방사하도록 구성하는 단계; 제2 굴절률 분포형 렌즈 및 제2 선형 가변 필터를 통해 상기 제1 선형
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