다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2016-0079989 (2016-06-27) | |
| 공개번호 | 10-2018-0001690 (2018-01-05) | |
| 등록번호 | 10-2516725-0000 (2023-03-28) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020160079989 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 심사청구여부 | 있음 (2021-05-21) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 베이크 장치.를 제공한다. 베이크 장치는 내부에 열처리 공간을 제공하는 그리고 일측에 기판 반입반출을 위한 슬롯과 상기 슬롯을 개폐하는 셔터 그리고 상기 셔터를 구동하는 셔터 구동부를 갖는 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 열처리 공간에 위치되어 기판을 냉각처리하는 냉각 플레이트; 및 기판을 가열처리하는 가열 처리 유닛을 포함하되; 상기 공정 챔버는 상기 가열 처리 유닛에서의 기판 베이크 처리시 상기 슬롯의 오픈율을 변경하기 위해 상기 셔터 구동부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
내부에 열처리 공간을 제공하는 그리고 일측에 기판 반입반출을 위한 슬롯과 상기 슬롯을 개폐하는 셔터 그리고 상기 셔터를 구동하는 셔터 구동부를 갖는 공정 챔버;상기 공정 챔버의 열처리 공간에 위치되어 기판을 냉각처리하는 냉각 플레이트; 및발열체를 갖는 가열 플레이트에 기판을 안착시키고, 처리 공간에서 기판을 베이크 처리하는 가열 처리 유닛을 포함하되;상기 공정 챔버는상기 가열 처리 유닛에서의 기판 베이크 처리시 상기 슬롯의 오픈율을 변경하기 위해 상기 셔터 구동부를 제어하는 제어부를 포함하되,상기 슬롯의 오픈율은,기판이 상기 가열
해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.