초록 ▼

본 발명은 진공챔버 내부로 듀얼 스테이지를 구비하여 하나의 합착장치를 통해 다양한 크기를 갖는 패널들의 합착공정이 이루어지도록 하는 듀얼 스테이지를 구비한 진공챔버 합착장치에 관한 것으로, 한 쌍의 수직플레이트가 소정간격 이격된 상태로 설치된 베이스; 상기 수직플레이트 사이에 설치되어 결합에 의해 내부에 진공을 형성하며, 제1패널이 각각 안착되는 두 개의 하부스테이지가 구비된 하부챔버와, 상기 하부챔버의 상부에 배치되며 상기 제1패널들과 합착되는 제2패널들이 안착되는 상부스테이지가 구비된 상부챔버,로 구성되어 상기 제1,2패널의 크

본 발명은 진공챔버 내부로 듀얼 스테이지를 구비하여 하나의 합착장치를 통해 다양한 크기를 갖는 패널들의 합착공정이 이루어지도록 하는 듀얼 스테이지를 구비한 진공챔버 합착장치에 관한 것으로, 한 쌍의 수직플레이트가 소정간격 이격된 상태로 설치된 베이스; 상기 수직플레이트 사이에 설치되어 결합에 의해 내부에 진공을 형성하며, 제1패널이 각각 안착되는 두 개의 하부스테이지가 구비된 하부챔버와, 상기 하부챔버의 상부에 배치되며 상기 제1패널들과 합착되는 제2패널들이 안착되는 상부스테이지가 구비된 상부챔버,로 구성되어 상기 제1,2패널의 크기에 따라 상기 상,하부스테이지에 결합되는 개별지그 또는 싱글지그에 의해 상기 제1,2패널을 듀얼 또는 싱글로 합착하는 진공챔버; 상기 한 쌍의 지지플레이트를 타고 승강 가능하게 설치되며, 상기 상부챔버를 승강시키면서 상기 하부챔버와 결합시키는 승강유닛; 및 상기 진공챔버의 하부로 상기 각 하부스테이지와 연결되어 개별구동하며, 상기 하부챔버의 상기 하부스테이지에 안착된 상기 제1패널의 안착위치를 얼라인 하도록 상기 하부스테이지를 X-Y-θ 방향으로 이동시키는 얼라인유닛;을 포함하여 구성되어 있다.

대표청구항 ▼

한 쌍의 수직플레이트(111)가 소정간격 이격된 상태로 설치된 베이스(110);상기 수직플레이트(111) 사이에 설치되어 결합에 의해 내부에 진공을 형성하며, 제1패널(10)이 각각 안착되는 두 개의 하부스테이지(122)가 구비된 하부챔버(121)와, 상기 하부챔버(121)의 상부에 배치되며 상기 제1패널(10)들과 합착되는 제2패널(20)들이 안착되는 상부스테이지(124)가 구비된 상부챔버(123),로 구성되어 상기 제1,2패널(10,20)의 크기에 따라 상기 상,하부스테이지(124,122)에 결합되는 개별지그(125) 또는 싱글

한 쌍의 수직플레이트(111)가 소정간격 이격된 상태로 설치된 베이스(110);상기 수직플레이트(111) 사이에 설치되어 결합에 의해 내부에 진공을 형성하며, 제1패널(10)이 각각 안착되는 두 개의 하부스테이지(122)가 구비된 하부챔버(121)와, 상기 하부챔버(121)의 상부에 배치되며 상기 제1패널(10)들과 합착되는 제2패널(20)들이 안착되는 상부스테이지(124)가 구비된 상부챔버(123),로 구성되어 상기 제1,2패널(10,20)의 크기에 따라 상기 상,하부스테이지(124,122)에 결합되는 개별지그(125) 또는 싱글지그(126)에 의해 상기 제1,2패널(10,20)을 듀얼 또는 싱글로 합착하는 진공챔버(120);상기 한 쌍의 수직플레이트(111)를 타고 승강 가능하게 설치되며, 상기 상부챔버(123)를 승강시키면서 상기 하부챔버(121)와 결합시키는 승강유닛(130); 및상기 진공챔버(120)의 하부로 상기 각 하부스테이지(122)와 연결되어 개별구동하며, 상기 하부챔버(121)의 상기 하부스테이지(122)에 안착된 상기 제1패널(10)의 안착위치를 얼라인 하도록 상기 하부스테이지(122)를 X-Y-θ 방향으로 이동시키는 얼라인유닛(140);을 포함하며,상기 상,하부스테이지(124,122)에는 상기 개별지그(125) 또는 상기 싱글지그(126)에 끼워짐으로써 상기 개별지그(125) 또는 상기 싱글지그(126)의 결합 포지션을 잡아주는 돌출된 적어도 하나의 가이드부재(128)가 구비되고,상기 상,하부스테이지(124,122)의 둘레에는 상기 싱글지그(126)에 지지된 상기 제1,2패널(10,20)의 위치를 기계적으로 얼라인시키기 위한 복수개의 실린더(127)가 구비된 것을 특징으로 하는 듀얼 스테이지를 구비한 진공챔버 합착장치.