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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0091442 (2016-07-19) | |
공개번호 | 10-2018-0009846 (2018-01-30) | |
등록번호 | 10-2544244-0000 (2023-06-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160091442 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-07-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예는, 증착원에서 분사되는 증착물질이 기판의 유효영역에 증착되도록 증착물질의 일부를 통과시키고, 다른 일부는 차단시키는 마스크 프레임 조립체에 있어서, 개구부를 갖는 프레임과, 증착물질을 통과시키는 패턴부와, 패턴부를 둘러싸도록 형성되어 증착물질을 차단하는 리브부를 포함하고, 양단부가 프레임에 설치되는 마스크와, 개구부를 가로지르도록 형성되어 양단부가 프레임에 설치되고, 리브부를 지지하는 지지스틱을 포함하고, 마스크는 리브부에 형성되어 증착물질을 통과시키는 제1 얼라인홀을 포함하고, 지지스틱은 증착물질의 분사 방향
증착원에서 분사되는 증착물질이 기판의 유효영역에 증착되도록 상기 증착물질의 일부를 통과시키고, 다른 일부는 차단시키는 마스크 프레임 조립체에 있어서,개구부를 갖는 프레임;상기 증착물질을 통과시키는 패턴부와, 상기 패턴부를 둘러싸도록 형성되어 상기 증착물질을 차단하는 리브부를 포함하고, 양단부가 상기 프레임에 설치되는 마스크; 및상기 개구부를 가로지르도록 형성되어 양단부가 프레임에 설치되고, 상기 리브부를 지지하는 지지스틱;을 포함하고,상기 마스크는 상기 리브부에 형성되어 상기 증착물질을 통과시키는 제1 얼라인홀을 포함하고,상기 지지
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