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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0105805 (2016-08-19) | |
공개번호 | 10-2018-0020827 (2018-02-28) | |
등록번호 | 10-2583758-0000 (2023-09-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160105805 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-08-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 히터는 제1 열확산판; 상기 제1 열확산판의 일면에 배치되고, 내부에 저항체가 배치된 세라믹 기판; 및 상기 세라믹 히터의 일면에 배치되는 제2 열확산판;을 포함하고, 상기 제1 열확산판, 세라믹 기판, 및 제2 열확산판은 열팽창 계수가 동일할 수 있다.
제1 열확산판;상기 제1 열확산판의 일면에 배치되고, 내부에 저항체가 배치된 세라믹 기판; 및상기 세라믹 기판의 일면에 배치되는 제2 열확산판;을 포함하고, 상기 제1 열확산판, 상기 세라믹 기판, 및 상기 제2 열확산판은 열팽창 계수가 동일하며,상기 제1 열확산판 및 상기 제2 열확산판 중 적어도 하나는, 구리 또는 알루미늄을 포함하는 재질의 제1 열확산층; 몰리브덴을 포함하는 재질의 제2 열확산층; 및 구리 또는 알루미늄을 포함하는 재질의 제3 열확산층;을 포함하고,상기 제2 열확산층은 상기 제1 열확산층 및 상기 제3 열확산층
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