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미세 섬모 구조물과 이의 제조방법 및 이를 포함하는 이송 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B65G-049/06
  • B25J-011/00
  • B65G-047/90
  • C23C-016/00
  • H01L-021/677
출원번호 10-2016-0106164 (2016-08-22)
등록번호 10-1817703-0000 (2018-01-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160106164
발명자 / 주소
  • 정훈의 / 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 **
  • 고한길 / 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 **
출원인 / 주소
  • 울산과학기술원 / 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 **
대리인 / 주소
  • 전용준
심사청구여부 있음 (2016-08-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은, 미세 섬모들의 상면에 친수성 소재를 잉킹하여 이송 대상물에 밀착되는 접촉패드를 형성함으로써, 접촉 패드의 제조가 매우 간편한 이점이 있다. 또한, 미세 섬모들의 상면을 제외한 나머지 부분에 미리 소수성 소재를 코팅하여 코팅 층을 형성한 이후, 미세 섬모들의 상면에 친수성 소재를 잉킹함으로써,잉킹 시 발생되는 모세관 현상을 방지하여 미세 섬모들의 상단에만 접촉패드를 형성할 수 있으므로, 제조방법이 간단하면서도 우수한 제조 품질을 확보할 수 있다.

대표청구항

베이스 부재와;상기 베이스 부재 상에 돌출되고 복수개가 상호 이격되게 배치된 미세 섬모들과;상기 베이스 부재의 둘레 면과, 상기 미세 섬모들의 상면을 제외한 나머지 측면들에 친수성 소재와 소수성 소재 중 어느 하나로 코팅되어 형성된 코팅 층과;상기 미세 섬모들의 상면에 상기 친수성 소재와 상기 소수성 소재 중 나머지 하나로 잉킹(Inking)되어 형성되어 접촉 대상물에 밀착되어 접촉되는 접촉패드를 포함하는 미세 섬모 구조물.

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. [한국] 나노-마이크로 구조체 및 그 형성 방법 | 윤현식, 김재경
  2. [한국] 건식 이송장치 및 이에 의한 건식 운반 방법 | 정창윤, 이훈
  3. [한국] 기판 이송 모듈용 슬립 방지 척 | 이하균
  4. [한국] 기판 이송 모듈용 슬립 방지 척 | 이하균
  5. [한국] 기판 이송 모듈용 슬립 방지 척 | 이하균
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