초록

본 발명의 블록공중합체 다층 박막의 제조방법 및 그로부터 제조된 블록공중합체 다층 박막은 복잡한 전처리 과정을 수행하지 않고 간단한 공정만으로 블록공중합체의 나노미터 크기의 규칙적인 수직배향을 유도할 수 있어 생산성이 우수한다. 또한 이와 동시에 박막 두께의 제한성이 낮아 보다 두꺼운 박막 및 다층 박막을 제조할 수 있다.

대표청구항 ▼

(1) 기판의 적어도 일면에 랭뮤어 방법을 이용하여 양친매성을 갖는 제1 산화그래핀 단층막을 형성하는 단계;(2) 상기 제1 산화그래핀 단층막 상에 극성 블록 및 비극성 블록을 포함하는 제1 블록공중합체 박막층을 형성하는 단계;(3) 상기 제1 블록공중합체 박막층을 가열하여 어닐링을 수행하여 제1 블록공중합체 박막층의 블록공중합체 나노 구조가 제1 산화그래핀 단층막의 수평면에 대하여 수직으로 배향되는 자기조립 단계;(4) 상기 제1 블록공중합체 박막층 상에 랭뮤어 방법을 이용하여 양친매성을 갖는 제2 산화그래핀 단층막을 형성하는 단

(1) 기판의 적어도 일면에 랭뮤어 방법을 이용하여 양친매성을 갖는 제1 산화그래핀 단층막을 형성하는 단계;(2) 상기 제1 산화그래핀 단층막 상에 극성 블록 및 비극성 블록을 포함하는 제1 블록공중합체 박막층을 형성하는 단계;(3) 상기 제1 블록공중합체 박막층을 가열하여 어닐링을 수행하여 제1 블록공중합체 박막층의 블록공중합체 나노 구조가 제1 산화그래핀 단층막의 수평면에 대하여 수직으로 배향되는 자기조립 단계;(4) 상기 제1 블록공중합체 박막층 상에 랭뮤어 방법을 이용하여 양친매성을 갖는 제2 산화그래핀 단층막을 형성하는 단계;(5) 상기 제2 산화그래핀 단층막 상에 극성 블록 및 비극성 블록을 포함하는 제2 블록공중합체 박막층을 형성하는 단계;및(6) 상기 제2 블록공중합체 박막층을 가열하여 어닐링을 수행하여 제2 블록공중합체 박막층의 블록공중합체 나노 구조가 제2 산화그래핀 단층막의 수평면에 대하여 수직으로 배향되는 자기조립 단계;를 포함하고, 상기 (4) 내지 (6)단계를 2회 이상 수행하는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 다층 박막의 제조방법.