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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0128056 (2016-10-05) | |
공개번호 | 10-2018-0037653 (2018-04-13) | |
등록번호 | 10-1877515-0000 (2018-07-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160128056 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-10-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법에서, 상기 슬롯다이 시스템은 외부케이스 및 슬롯다이 코팅장비를 포함한다.상기 외부케이스는 일 측면에는 글러브(glove)가 형성되고, 다른 측면에는 도어부가 형성된다.상기 슬롯다이 코팅장비는 상기 외부케이스의 내부에 수납되며, 슬롯다이, 실린지, 연결유닛 및 이송 제어부를 포함한다.상기 슬롯다이는 노즐을 통해 유체를 토출하여 기판에 코팅을 수행한다.상기 실린지는 펌프유닛을 포함하여 상기 슬롯다이로 유체를 펌핑(pumping)하여 공급한다.상기 연결유닛은 상기 실린지와 상기 슬롯다이
일 측면에는 글러브(glove)가 형성되고, 다른 측면에는 도어부가 형성되는 외부케이스; 및상기 외부 케이스의 내부에 수납되는 슬롯다이 코팅장비를 포함하고, 상기 슬롯다이 코팅장비는, 노즐을 통해 유체를 토출하여 기판에 코팅을 수행하는 슬롯다이; 펌프유닛을 포함하여 상기 슬롯다이로 유체를 펌핑(pumping)하여 공급하는 실린지; 상기 실린지와 상기 슬롯다이 사이에서 상기 유체가 이송되는 연결유닛; 상기 연결유닛에 장착되어, 상기 기판에 코팅을 수행하기 전에 반복 퍼징(fuzzing)으로 상기 펌핑에 따른 응답지연인 슬롯다이의 시정
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