다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2016-0133521 (2016-10-14) | |
| 등록번호 | 10-1709754-0000 (2017-02-17) | |
| 우선권정보 | 대한민국(KR) 1020160059661 (2016-05-16) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020160133521 | |
| 발명자 / 주소 |
|
|
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 심사청구여부 | 있음 (2016-10-14) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 기체분배장치가 필요한 하우징의 내부를 상부공간과 하부공간으로 분리하는 침니트레이; 상기 침니트레이 상부면에 구비되어 상부공간과 하부공간을 연통시키는 침니; 천정과 상기 천정에 연결된 측벽을 포함하는 구조를 가지며, 상기 침니의 외부에 침니와 이격된 상태로 고정되며, 침니 상단부의 홀(hole)로부터 공급되는 기체를 상부공간으로 배출하는 기체배출구가 형성되도록 침니의 외부를 커버하는 캡; 상기 하우징의 상부공간에 액체를 공급하는 액체공급수단; 및 상기 하우징의 상부공간으로부터 액체를 배출시키는 액체배출수단;을 포함하며, 상
하우징의 내부를 상부공간과 하부공간으로 분리하는 침니트레이; 상기 침니트레이 상부면에 구비되어 상부공간과 하부공간을 연통시키는 침니; 천정과 상기 천정에 연결된 측벽을 포함하는 구조를 가지며, 상기 침니의 외부에 침니와 이격된 상태로 고정되며, 침니 상단부의 홀(hole)로부터 공급되는 기체를 상부공간으로 배출하는 기체배출구가 형성되도록 침니의 외부를 커버하는 캡; 상기 하우징의 상부공간에 액체를 공급하는 액체공급수단; 및 상기 하우징의 상부공간으로부터 액체를 배출시키는 액체배출수단;을 포함하며,상기 기체배출구의 크기는 상기 액체공
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.