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불화이트륨 용사 재료 및 옥시불화이트륨 성막 부품, 및 그들의 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-004/10
  • C23C-004/134
출원번호 10-2016-0135451 (2016-10-19)
공개번호 10-2017-0048177 (2017-05-08)
등록번호 10-2276663-0000 (2021-07-07)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2015-208616 (2015-10-23)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160135451
발명자 / 주소
  • 다카이, 야스시 / 일본 후꾸이껭 에찌젠시 기따고 *쪼메 *방 *고 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 다께후 고죠 내
  • 하마야, 노리아키 / 일본 후꾸이껭 에찌젠시 기따고 *쪼메 *방 *고 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 다께후 고죠 내
출원인 / 주소
  • 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 / 일본 도꾜도 지요다꾸 오떼마치 *쪼메 *방 *고
대리인 / 주소
  • 장수길; 박보현
심사청구여부 있음 (2019-06-17)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

[해결 수단] Y5O4F7과 YF3을 포함하며, Y5O4F7과 YF3이, Y5O4F7이 30 내지 90질량%, 잔분이 YF3이고, 평균 입자 직경이 10㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 벌크 밀도가 1.2g/㎤ 이상 2.5g/㎤ 이하인 불화이트륨 용사 재료, 및 기재에, YOF, Y5O4F7 및 Y7O6F9로부터 선택되는 적어도 1종의 옥시불화이트륨을 포함하는 용사막이 적층되어 이루어지는 옥시불화이트륨 성막 부품.[효과] 본 발명의 불화이트륨 용사 재료는, 대기 중 플라즈마 용사했을 때, 옥시불화이트륨 용사막을 얻을 수 있다.

대표청구항

Y5O4F7과 YF3을 포함하고, Y2O3를 포함하지 않으며, Y5O4F7과 YF3이, Y5O4F7이 30 내지 90질량%, 잔분이 YF3이고, 레이저 회절법으로 측정된 평균 입자 직경 D50이 10㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 벌크 밀도가 1.2g/㎤ 이상 2.5g/㎤ 이하인 것을 특징으로 하는 불화이트륨 용사 재료.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [미국] Thermal spray spherical particles, and sprayed components | Wataya, Kazuhiro, Maeda, Takao, Tsukatani, Toshihiko
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  2. [일본] THERMAL SPRAY MATERIAL AND ITS MANUFACTURING METHOD | FUKAGAWA NAOKI, NAKAJIMA YUKI
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이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. [한국] 용사 피막, 용사 피막의 제조 방법, 용사 부재 및 용사 재료 | 이와사키, 료, 하마야, 노리아키, 다카이, 야스시, 나카노, 하지메
    상세보기
  2. [한국] 용사 피막, 용사 피막의 제조 방법, 용사 부재 및 용사 재료 | 이와사키, 료, 하마야, 노리아키, 다카이, 야스시, 나카노, 하지메
    상세보기
  3. [한국] YOF계 분말의 제조방법 | 이강호, 박정남, 조태영, 신재섭, 이성민, 박상준
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