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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0154920 (2016-11-21) | |
공개번호 | 10-2018-0056949 (2018-05-30) | |
등록번호 | 10-2029071-0000 (2019-09-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160154920 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 13족 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막의 제조방법을 제공하는 것으로, 본 발명의 13족 금속 전구체는 상온에서 액체로 존재함으로써 취급이 용이하며, 휘발성 및 열안정성이 높아 이를이용하여 쉽게 양질의 13족 금속 함유 박막을 제공할 수 있다.
하기 화학식 1로 표시되는 13족 금속 전구체.[화학식 1](상기 화학식 1에서,M은 알루미늄, 인듐 또는 갈륨이며;R1 및 R2는 각각 독립적으로 C1 내지 C4의 선형 또는 분지형 알킬이고, R3 내지 R7은 각각 독립적으로 (C1-C4)알킬이며;A는 -(C(R11R12)n-이며, R11 및R12는 서로 독립적으로 수소 또는 (C1-C5)알킬이며;n은 0 내지 5의 정수이다.]
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