[특허]13족 금속 전구체, 이를 포함하는 박막증착용 조성물 및 이를 이용하는 박막의 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C07F-005/06 C07F-005/00 C23C-016/18 C23C-016/455
출원번호	10-2016-0154920 (2016-11-21)
공개번호	10-2018-0056949 (2018-05-30)
등록번호	10-2029071-0000 (2019-09-30)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020160154920
발명자 / 주소	박보근 / 대전광역시 유성구 가정로 * (장동) 한국화학연구원 창조관 호 정택모 / 대전광역시 유성구 배울로 ** (관평동, 대덕테크노밸리단지아파트) 동 호 김창균 / 대전광역시 유성구 가정로 (신성동, 삼성한울아파트) *동 호 전동주 / 대전광역시 유성구 신성로번길 (신성동) 한정환 / 대전광역시 서구 월평북로 (월평동, 주공아파트) *동 호 김건환 / 대전광역시 유성구 지족로 ** (지족동, 반석마을아파트단지) 동 호 정은애 / 대구광역시 북구 칠성남로 * (칠성동가, 칠성휴먼시아) 동 호 이가연 / 대전광역시 서구 둔산로 (둔산동, 국화아파트) 동 ***호
출원인 / 주소	한국화학연구원 / 대전광역시 유성구 가정로 *** (장동)
대리인 / 주소	특허법인 플러스
심사청구여부	있음 (2017-11-13)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 13족 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막의 제조방법을 제공하는 것으로, 본 발명의 13족 금속 전구체는 상온에서 액체로 존재함으로써 취급이 용이하며, 휘발성 및 열안정성이 높아 이를이용하여 쉽게 양질의 13족 금속 함유 박막을 제공할 수 있다.

대표청구항

하기 화학식 1로 표시되는 13족 금속 전구체.[화학식 1](상기 화학식 1에서,M은 알루미늄, 인듐 또는 갈륨이며;R1 및 R2는 각각 독립적으로 C1 내지 C4의 선형 또는 분지형 알킬이고, R3 내지 R7은 각각 독립적으로 (C1-C4)알킬이며;A는 -(C(R11R12)n-이며, R11 및R12는 서로 독립적으로 수소 또는 (C1-C5)알킬이며;n은 0 내지 5의 정수이다.]

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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