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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0158406 (2016-11-25) | |
공개번호 | 10-2018-0059168 (2018-06-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160158406 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-11-25) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
기판 장력 유지 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치는 기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하는 동시에 내부에 상기 기판과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로가 형성되는 스테이지 및 상기 흡입유로와 연결되어 공기를 흡입함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 측으로 흡착하는 흡입구동부를 포함한다.
기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하는 동시에, 내부에 상기 기판과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로가 형성되는 스테이지; 및상기 흡입유로와 연결되어 공기를 흡입함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 측으로 흡착하는 흡입구동부;를 포함하는 기판 장력 유지 장치.
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