$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] ＰＶＤ와 ＡＬＤ를 조합하여 구성되는 내식성 향상 코팅막 및 그 제조방법
Enhanced Corrosion Resistance Coatings by a Hybrid PVD/ALD Process and Manufacturing Method thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-028/04
  • C23C-014/02
  • C23C-014/06
  • C23C-016/40
  • C23C-016/455
  • C23C-016/52
출원번호 10-2016-0158900 (2016-11-28)
공개번호 10-2018-0061435 (2018-06-08)
등록번호 10-1882584-0000 (2018-07-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160158900
발명자 / 주소
  • 만지흠 / 부산광역시 금정구 수림로**번길 *** ***호(장전동)
  • 권세훈 / 부산광역시 동래구 중앙대로 **** SK허브스카이위아아파트 ***동 ****호
  • 최현진 / 부산광역시 금정구 금강로 ***, ***동 ****호
  • 하태권 / 부산광역시 동래구 금강로***번길 ** 동래 SK VIEW *차 ***-****호
  • 배근득 / 경상남도 김해시 덕정로 ***번길 *-* ***호
  • 장경수 / 부산광역시 서구 흑교로***번길 ** ***호 (부용동*가,동양하이츠)
출원인 / 주소
  • (주)서영 / 부산광역시 강서구 미음산단*로 *** (미음동)
  • 재단법인 부산테크노파크 / 부산광역시 강서구 과학산단*로 **번길 **
  • 부산대학교 산학협력단 / 부산광역시 금정구 부산대학로**번길 * (장전동, 부산대학교)
대리인 / 주소
  • 주은희
심사청구여부 있음 (2016-12-12)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 모재에 경질막으로 CrN을 PVD법으로 코팅하고 하고, 나노두께로 적층된 Al2O3/TiO2(nanolaminate-Al2O3/TiO2)을 ALD법으로 적층한 다음 다시 CrN을 PVD법으로 코팅한 다층 코팅막을 제공하였다. 즉, 나노 두께로 적층 된 Al2O3/TiO2(nanolaminate-Al2O3/TiO2)층이 CrN 경질막층의 중간에 삽입된 다층코팅막을 제공한다.

대표청구항 ▼

모재의 내식성을 향상하기 위한 코팅 막을 형성하는 방법에 있어서,CrN층을 PVD(Physical Vapor Deposition) 방법으로 형성하고,형성된 CrN층 위에 Al2O3층과 TiO2층을 ALD(atomic layer deposition)에 의해나노라미네이트-Al2O3/TiO2층을 형성하되, 나노라미네이트-Al2O3/TiO2층은 Al2O3와 TiO2층를 각각 ALD법을 사용하여 교대로 반복 적층하여 구성하고,형성된 나노라미네이트-Al2O3/TiO2층 위에 PVD에 의해 CrN층을 형성하여,나노라미네이트-Al2O3/TiO2층

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 내부식 및 기계적 특성이 향상된 고경도 코팅막의 제조방법 | 만지흠, 권세훈, 문형석, 최우창, 최현진, 하태권, 배근득, 장경수
    상세보기

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 특허

해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로