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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0162454 (2016-12-01) | |
공개번호 | 10-2018-0062604 (2018-06-11) | |
등록번호 | 10-1909670-0000 (2018-10-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160162454 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-12-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 엑스-레이 발생장치에 관한 것으로, 진공챔버 내에 구비된 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 타겟과 충돌시켜 검사대상물에 엑스-레이(X-ray)를 발생시키는 엑스-레이 발생장치에 있어서, 상기 타겟의 하부측에 구비되며, 상기 전자 빔이 상기 타겟에 충돌되기 이전에 자기장에 의해 일측 방향으로 편향시키는 적어도 하나의 타겟 편향코일부와, 상기 타겟의 특정 영역 내에 미리 설정된 편향 패턴으로 상기 전자 빔의 충돌 위치가 변경될 수 있도록 상기 타겟 편향코일부의 동작을 제어하는 제어부를 포함함으로써, 비교적 간단한 구조를 가지
진공챔버 내에 구비된 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 타겟과 충돌시켜 검사대상물에 엑스-레이(X-ray)를 발생시키는 엑스-레이 발생장치에 있어서,상기 타겟의 하부측에 구비되며, 상기 전자 빔이 상기 타겟에 충돌되기 이전에 자기장에 의해 일측 방향으로 편향시키는 적어도 하나의 타겟 편향코일부;상기 전자총과 상기 타겟 편향코일부 사이에 배치되며, 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 정형화하여 상기 타겟에 도달될 수 있도록 하는 빔 커터;상기 전자총과 상기 빔 커터 사이에 배치되며, 자기장에 의해 상기 전자총으로부터 방출되는 전자
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