초록 ▼

본 발명은 엑스-레이 발생장치에 관한 것으로, 진공챔버 내에 구비된 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 타겟과 충돌시켜 검사대상물에 엑스-레이(X-ray)를 발생시키는 엑스-레이 발생장치에 있어서, 상기 타겟의 하부측에 구비되며, 상기 전자 빔이 상기 타겟에 충돌되기 이전에 자기장에 의해 일측 방향으로 편향시키는 적어도 하나의 타겟 편향코일부와, 상기 타겟의 특정 영역 내에 미리 설정된 편향 패턴으로 상기 전자 빔의 충돌 위치가 변경될 수 있도록 상기 타겟 편향코일부의 동작을 제어하는 제어부를 포함함으로써, 비교적 간단한 구조를 가지

본 발명은 엑스-레이 발생장치에 관한 것으로, 진공챔버 내에 구비된 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 타겟과 충돌시켜 검사대상물에 엑스-레이(X-ray)를 발생시키는 엑스-레이 발생장치에 있어서, 상기 타겟의 하부측에 구비되며, 상기 전자 빔이 상기 타겟에 충돌되기 이전에 자기장에 의해 일측 방향으로 편향시키는 적어도 하나의 타겟 편향코일부와, 상기 타겟의 특정 영역 내에 미리 설정된 편향 패턴으로 상기 전자 빔의 충돌 위치가 변경될 수 있도록 상기 타겟 편향코일부의 동작을 제어하는 제어부를 포함함으로써, 비교적 간단한 구조를 가지면서도 타겟의 사용수명을 최대한 연장할 수 있을 뿐만 아니라 엑스-레이 발생장치의 유지비용을 최대한 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

진공챔버 내에 구비된 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 타겟과 충돌시켜 검사대상물에 엑스-레이(X-ray)를 발생시키는 엑스-레이 발생장치에 있어서,상기 타겟의 하부측에 구비되며, 상기 전자 빔이 상기 타겟에 충돌되기 이전에 자기장에 의해 일측 방향으로 편향시키는 적어도 하나의 타겟 편향코일부;상기 전자총과 상기 타겟 편향코일부 사이에 배치되며, 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 정형화하여 상기 타겟에 도달될 수 있도록 하는 빔 커터;상기 전자총과 상기 빔 커터 사이에 배치되며, 자기장에 의해 상기 전자총으로부터 방출되는 전자

진공챔버 내에 구비된 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 타겟과 충돌시켜 검사대상물에 엑스-레이(X-ray)를 발생시키는 엑스-레이 발생장치에 있어서,상기 타겟의 하부측에 구비되며, 상기 전자 빔이 상기 타겟에 충돌되기 이전에 자기장에 의해 일측 방향으로 편향시키는 적어도 하나의 타겟 편향코일부;상기 전자총과 상기 타겟 편향코일부 사이에 배치되며, 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 정형화하여 상기 타겟에 도달될 수 있도록 하는 빔 커터;상기 전자총과 상기 빔 커터 사이에 배치되며, 자기장에 의해 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 상기 타겟 쪽으로 집속되도록 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 감싸도록 구비된 코어와 상기 코어에 다수의 횟수로 감긴 코일로 이루어진 자기 대물렌즈;상기 전자총과 상기 자기 대물렌즈 사이에 배치되며, 자기장에 의해 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 상기 자기 대물렌즈 쪽으로 집속되도록 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 감싸도록 구비된 코어와 상기 코어에 다수의 횟수로 감긴 코일로 이루어진 자기 집속렌즈;상기 자기 대물렌즈와 상기 자기 집속렌즈 사이에 배치되며, 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 소정 방향과 면적으로 상기 자기 대물렌즈 쪽으로 편향시키는 제1 편향코일;상기 전자총과 상기 자기 집속렌즈 사이에 배치되며, 상기 전자총으로부터 방출되는 전자 빔을 소정 방향과 면적으로 상기 자기 집속렌즈 쪽으로 편향시키는 제2 편향코일; 및상기 타겟의 특정 영역 내에 미리 설정된 편향 패턴으로 상기 전자 빔의 충돌 위치가 변경될 수 있도록 상기 타겟 편향코일부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치.