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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0164076 (2016-12-05) | |
등록번호 | 10-1859849-0000 (2018-05-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160164076 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-12-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 목적은 클러스터 장비에 적용 가능한 대면적 마스크와 개선된 증발원의 운용 방식을 제공하여 다층 박막 증착에 따르던 어려움을 해결하고 대면적 기판의 안정적인 양산이 가능한 클러스터 시스템을 제공하는 데 있다. 그에 따라 본 발명은, 클러스터를 형성하는 하나 이상의 챔버와 챔버에 기판을 반입 반출하여 주는 로봇 암을 구비하는 클러스터 증착 시스템에 있어서, 상기 챔버 중 증착 공정을 실시하는 공정 챔버는,하나 이상의 증발원; 및단부에 마스크가 반입 및 반출되는 마스크 스토커;를 구비하여,로봇 암은 기판만을 공정 챔버에 반입하
기판에 박막을 형성하는 클러스터 시스템에 있어서,기판을 공정 챔버에 반입하고 반출시키는 로봇을 구비하는 트랜스퍼 챔버;및상기 트랜스퍼 챔버 주위에 배치되는 하나 이상의 공정 챔버;를 구비하고,상기 공정 챔버는,기판과 합착 될 마스크가 비치되는 마스크 스토커; 및하나 이상의 증발원;을 구비하여,상기 로봇은 기판을 공정 챔버에 반입하고, 마스크는 마스크 스토커로부터 반송롤러에 의해 이동되되, 기판이 반입되는 지점으로 이동되어 기판과 마스크가 얼라인 및 합착 되고,상기 증발원 각각은 셔터를 구비하여 박막 형성을 위해 셔터로 개폐 제어되고
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