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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0166048 (2016-12-07) | |
공개번호 | 10-2018-0065367 (2018-06-18) | |
등록번호 | 10-1883933-0000 (2018-07-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160166048 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-12-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서 및 그 운용방법에 관한 것으로, 거리를 측정하는 변위센서와 ESD 측정을 위한 정전기 측정 전위센서를 하나의 장치에 탑재하고 작동을 연계함으로써, 대전체와 전위센서의 거리 변화에 따라 정전기 전위 측정 결과값의 변화가 발생하는 기존 정전기 측정센서의 불편함을 해소함에 있어서, 변위센서가 측정한 대전체와의 거리가 메인 콘트롤러에 저장되어 전위센서의 정전기량 측정값을 자동으로 보정하여 주고, 변위센서가 전위센서에 미치는 정전용량의 변화까지 전위센서 측정의 결과값 오차 보정에 적용하여, 움
초음파센서를 이용한 거리 보정 기능이 있는 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서에 있어서, 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서(B)는, 대전체(11)의 정전기량을 측정하는 전위센서(3)와,대전체(11)와의 거리를 감지하는 변위센서(2)와, 변위센서(2)와 전위센서(3)를 하나의 기구물에 일체화하여 동일한 면에 위치시킨 케이스(1)와,대전체의 전압을 V라고 하고, 변위센서에서 측정한 대전체와의 거리를 d0라고 하면, V=(1+d/d0)*V1의 수식에 따라 d만큼 변화한 거리에서 전위센서에서 측정되는 전압인 V1을 거리 변화에 관계
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