초록 ▼

본 발명은 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서 및 그 운용방법에 관한 것으로, 거리를 측정하는 변위센서와 ESD 측정을 위한 정전기 측정 전위센서를 하나의 장치에 탑재하고 작동을 연계함으로써, 대전체와 전위센서의 거리 변화에 따라 정전기 전위 측정 결과값의 변화가 발생하는 기존 정전기 측정센서의 불편함을 해소함에 있어서, 변위센서가 측정한 대전체와의 거리가 메인 콘트롤러에 저장되어 전위센서의 정전기량 측정값을 자동으로 보정하여 주고, 변위센서가 전위센서에 미치는 정전용량의 변화까지 전위센서 측정의 결과값 오차 보정에 적용하여, 움

본 발명은 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서 및 그 운용방법에 관한 것으로, 거리를 측정하는 변위센서와 ESD 측정을 위한 정전기 측정 전위센서를 하나의 장치에 탑재하고 작동을 연계함으로써, 대전체와 전위센서의 거리 변화에 따라 정전기 전위 측정 결과값의 변화가 발생하는 기존 정전기 측정센서의 불편함을 해소함에 있어서, 변위센서가 측정한 대전체와의 거리가 메인 콘트롤러에 저장되어 전위센서의 정전기량 측정값을 자동으로 보정하여 주고, 변위센서가 전위센서에 미치는 정전용량의 변화까지 전위센서 측정의 결과값 오차 보정에 적용하여, 움직이는 측정 대상 물체 등 거리가 변경되는 대전체의 감지에 따른 오작동의 문제를 해결하면서 정확한 전위측정이 가능하고, 장치를 소형화 시킴으로써 사용이 편리하며, 제작 및 설치 비용 절감의 효과가 있는, 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서 및 그 운용방법을 포함한다.

대표청구항 ▼

초음파센서를 이용한 거리 보정 기능이 있는 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서에 있어서, 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서(B)는, 대전체(11)의 정전기량을 측정하는 전위센서(3)와,대전체(11)와의 거리를 감지하는 변위센서(2)와, 변위센서(2)와 전위센서(3)를 하나의 기구물에 일체화하여 동일한 면에 위치시킨 케이스(1)와,대전체의 전압을 V라고 하고, 변위센서에서 측정한 대전체와의 거리를 d0라고 하면, V=(1+d/d0)*V1의 수식에 따라 d만큼 변화한 거리에서 전위센서에서 측정되는 전압인 V1을 거리 변화에 관계

초음파센서를 이용한 거리 보정 기능이 있는 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서에 있어서, 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서(B)는, 대전체(11)의 정전기량을 측정하는 전위센서(3)와,대전체(11)와의 거리를 감지하는 변위센서(2)와, 변위센서(2)와 전위센서(3)를 하나의 기구물에 일체화하여 동일한 면에 위치시킨 케이스(1)와,대전체의 전압을 V라고 하고, 변위센서에서 측정한 대전체와의 거리를 d0라고 하면, V=(1+d/d0)*V1의 수식에 따라 d만큼 변화한 거리에서 전위센서에서 측정되는 전압인 V1을 거리 변화에 관계 없이 대전체의 전압 V로 보정하는 방식으로 거리에 따른 전위값의 오차를 보정하고, 변위센서(2)와 전위센서(3)의 각 측정값을 저장하는 메인 콘트롤러(5)와, 메인 콘트롤러(5)에 전원을 공급하는 전원부(10)와,측정되는 정전기 결과값을 표시하는 표시부(6)와,변위센서(2)와 전위센서(3)에 전원을 공급하고 제어 신호를 송수신하는 연결케이블(4)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서