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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0180656 (2016-12-28) | |
공개번호 | 10-2017-0077833 (2017-07-06) | |
등록번호 | 10-1965217-0000 (2019-03-28) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020150187472 (2015-12-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160180656 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-06-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
신규한 탄탈럼 화합물, 상기 탄탈럼 화합물의 제조 방법, 상기 탄탈럼 화합물을 포함하는 탄탈럼-함유 막 증착용 전구체 조성물, 및 상기 전구체 조성물을 이용하는 탄탈럼-함유 막의 증착 방법에 관한 것이다.
하기 화학식 1로서 표시되는, 탄탈럼 화합물:[화학식 1] 상기 화학식 1에서,R1 및 R2는, 각각 독립적으로, H; 또는 선형 또는 분지형의 C1-C10 알킬기이고,R3, R3', R3", R4, R4', 및 R4"는, 각각 독립적으로, H; 또는 선형 또는 분지형의 C1-C3 알킬기임.
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