초록

산소 (O) 와 염소 (Cl) 의 함유량이 저감된 나노 실리콘 재료를 제공한다. 불소 (F) 와 나노 사이즈의 실리콘 결정자를 함유한다. 불소 (F) 가 존재하고 있기 때문에 산소 (O) 및 염소 (Cl) 가 존재하는 층의 생성이 억제되고, 리튬 이온의 이동 속도의 저하가 억제된다. 또 불소 (F) 가 존재하고 있는만큼, 산소 (O) 및 염소 (Cl) 의 농도가 저감되어, 리튬 이온과의 반응이 억제된다.

대표청구항

불소와 나노 사이즈의 실리콘 결정자를 함유하고,원소 조성이 원자비로 SiOxClyFz(0 < (x ＋ y ＋ z) ≤ 1, x < 0.5) 의 관계에 있고,상기 실리콘 결정자는, X 선 회절 측정 결과의 (111) 면의 회절 피크의 반치폭으로부터 셰러의 식으로 산출되는 결정자 사이즈가 0.5 ㎚ ∼ 300 ㎚ 이고,상기 불소는 0.01 ∼ 10 질량％ 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 나노 실리콘 재료.

불소와 나노 사이즈의 실리콘 결정자를 함유하고,원소 조성이 원자비로 SiOxClyFz(0 < (x ＋ y ＋ z) ≤ 1, x < 0.5) 의 관계에 있고,상기 실리콘 결정자는, X 선 회절 측정 결과의 (111) 면의 회절 피크의 반치폭으로부터 셰러의 식으로 산출되는 결정자 사이즈가 0.5 ㎚ ∼ 300 ㎚ 이고,상기 불소는 0.01 ∼ 10 질량％ 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 나노 실리콘 재료.