초록 ▼

본 발명은, 피교정 압력센서를 기준 압력 센서와 함께, 폐공간으로 구성된 챔버 내부 압력을, 온도와 압력을 달리하면서 측정하게 하고, 각 압력에서 기준 압력센서의 값과 피교정 압력센서의 값과 온도값을 이용하여, 온도와 압력에 따른 교정식을 생성하는, 압력 센서 교정 관리 시스템에 관한 것이다.본 발명은, 교정을 받고자 하는 압력센서로, 챔버에 장착되는, 피교정 압력센서; 피교정 압력센서의 교정기준을 제공하기 위한 수단으로, 챔버에 장착되는, 기준 압력센서; 챔버의 온도를 측정하는, 온도센서; 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단;

본 발명은, 피교정 압력센서를 기준 압력 센서와 함께, 폐공간으로 구성된 챔버 내부 압력을, 온도와 압력을 달리하면서 측정하게 하고, 각 압력에서 기준 압력센서의 값과 피교정 압력센서의 값과 온도값을 이용하여, 온도와 압력에 따른 교정식을 생성하는, 압력 센서 교정 관리 시스템에 관한 것이다.본 발명은, 교정을 받고자 하는 압력센서로, 챔버에 장착되는, 피교정 압력센서; 피교정 압력센서의 교정기준을 제공하기 위한 수단으로, 챔버에 장착되는, 기준 압력센서; 챔버의 온도를 측정하는, 온도센서; 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단; 챔버의 온도조절을 위해, 챔버를 가온하는, 히터; 챔버내 온도와 압력을 달리하여 검출된, 기준압력센서의 출력신호와, 피교정 압력센서의 출력신호와, 온도센서의 출력신호인 온도신호를 수신하고, 기준압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도신호를 이용하여, 피교정 압력센서를 교정하는 교정식을 생성하는 연산처리부;를 포함하여 이루어지며, 연산처리부는, 기준압력센서의 출력신호와, 피교정 압력센서의 출력신호와, 온도센서의 출력값인 온도신호를, 커브피팅(Curve Fitting)기반의 알고리즘에 적용하여 상기 교정식을 구하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

폐공간으로 이루어지며, 기준 압력센서와, 피교정 압력센서가 장착되는, 챔버;챔버의 온도를 측정하는, 온도센서;제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)와, 외부 공기의 유입 정도를 조절하는 제2밸브(52)를 포함하되, 챔버의 일측에서, 상단에 제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)가 연결되고, 챔버의 다른 일측에는 제2밸브(52)가 장착되며, 연산처리부로부터 수신된 챔버내 압력제어신호에 따라 제1밸브, 제2밸브 및 진공펌프를 조절함에 의해, 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단;챔버내 압력을 달리하는 챔버내 압력제어신호를 생성하여

폐공간으로 이루어지며, 기준 압력센서와, 피교정 압력센서가 장착되는, 챔버;챔버의 온도를 측정하는, 온도센서;제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)와, 외부 공기의 유입 정도를 조절하는 제2밸브(52)를 포함하되, 챔버의 일측에서, 상단에 제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)가 연결되고, 챔버의 다른 일측에는 제2밸브(52)가 장착되며, 연산처리부로부터 수신된 챔버내 압력제어신호에 따라 제1밸브, 제2밸브 및 진공펌프를 조절함에 의해, 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단;챔버내 압력을 달리하는 챔버내 압력제어신호를 생성하여 압력 조절수단으로 전송하여, 챔버내 압력을 달리하여 검출된, 기준압력센서의 출력신호와, 피교정 압력센서의 출력신호와, 온도센서의 출력신호인 온도신호를 수신하고, 기준압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도신호를 이용하여, 피교정 압력센서를 교정하는 교정식을 생성하는 연산처리부;를 포함하여 이루어지며,연산처리부는, 피교정 압력센서 출력신호를 변수로 하는 3차원 다항식을, 교정된 피교정 압력센서 출력 신호의 추정식으로 하고, 최소제곱법에 근거하여, 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 교정된 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하며, 연산처리부는 피교정 압력센서의 출력신호를 x 라 하고, 교정된 피교정 압력센서 출력 신호(u(x))의 추정식을 u(x)=a+bx+cx2+dx3(단, a, b, c, d는 계수로 실수임) 라 할때, 최소제곱법에 근거하여 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수(a, b, c, d)를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템.