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[한국특허] 고열전도 질화규소 소결체의 제조방법
Manufacturing Of Sintered Silicon Nitride Body With High Thermal Conductivity
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C04B-035/591
  • C04B-035/626
출원번호 10-2017-0024868 (2017-02-24)
공개번호 10-2018-0097987 (2018-09-03)
등록번호 10-2052592-0000 (2019-11-29)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170024868
발명자 / 주소
  • 김진명 / 경상남도 창원시 성산구 상남로 **, *동 ***호(상남동, 대우아파트)
  • 박영조 / 경상남도 창원시 진해구 자은로**번길 **, ***동 ***호(자은동, 삼성아파트)
  • 김해두 / 경상남도 창원시 진해구 진해대로***번길 **, ***동 ***호 (석동, 진해석동한솔파크(*단지))
  • 이재욱 / 경상남도 창원시 성산구 창원대로***번길 **, ***동 ****호(외동, 월드메르디앙 이스턴애비뉴)
  • 고재웅 / 경상남도 창원시 성산구 대암로 *, ***동 ***호(남양동, 한림엘리시온아파트)
  • 김하늘 / 경상남도 김해시 율하*로 ***, ****동 ***호(율하동, 율현마을율하이편한세상)
출원인 / 주소
  • 한국기계연구원 / 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
대리인 / 주소
  • 특허법인충정
심사청구여부 있음 (2018-02-13)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 고열전도 질화규소 소결체의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Si의 완전 질화를 기준으로 xSi3N4-yA2O3-zB2O3(여기서, x, y, z는 mol%이고, x, y, z > 0, A 및 B는 Y, Sc, Nd 및 Yb로 이루어진 그룹 중에서 선택된 희토류 금속)의 조성식을 따르도록 Si, A2O3, 및 B2O3 원료 분말을 배합하는 단계(S10)와, 상기 배합된 원료 분말을 혼합하는 단계(S20)와, 상기 혼합된 원료 분말을 성형하는 단계(S30)와, 상기 성형된 성형체를 질화하는 단계(S40), 및

대표청구항

Si의 완전 질화를 기준으로 xSi3N4-ySc2O3-zY2O3(여기서, x, y, z는 mol%이고, x, y, z > 0, 2<y+z<7인 것이고, y>z임)의 조성식을 따르도록 Si, Sc2O3, 및 Y2O3 원료 분말을 배합하는 단계(S10);상기 배합된 원료 분말을 혼합하는 단계(S20);상기 혼합된 원료 분말을 성형하는 단계(S30);상기 성형된 성형체를 질화하는 단계(S40); 및 상기 질화된 성형체를 소결하는 단계(S50);를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 질화 규소 기판 제조방법 | 쿠사노, 다이, 타나베, 겐, 히라오, 키요시, 휴가, 히데키, 조우, 유
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