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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2017-0029969 (2017-03-09) | |
| 공개번호 | 10-2018-0104211 (2018-09-20) | |
| 등록번호 | 10-1920331-0000 (2018-11-14) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020170029969 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2017-03-09) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 수지 코팅층이 형성된 기판이 내부에 위치하여 열처리되는 공정 챔버 및 상기 기판의 외측과 상기 공정 챔버의 내측면 사이에 위치하여 상기 기판의 열처리 과정에서 발생되는 유기물 퓸을 흡입하는 내부 배기 모듈을 포함하는 기판 열처리 장치를 개시한다.
기판이 내부에 위치하여 열처리되는 공정 챔버;상기 기판의 외측과 상기 공정 챔버의 내측면 사이에 위치하여 상기 기판의 열처리 과정에서 발생되는 아웃 가스를 흡입하는 내부 배기 모듈; 및상기 기판을 지지하는 기판 지지 모듈;을 포함하고,상기 내부 배기 모듈은 상기 기판의 외측을 따라 위치하도록 폐곡선 형상으로 형성되며 내부에 상기 아웃 가스를 포함하는 배기 가스가 흐르는 배기 통로가 형성된 배기 프레임을 포함하고,상기 기판 지지 모듈은 상기 배기 프레임의 내주면 사이에서 수평 방향으로 이격되어 위치하며 상부에 상기 기판을 지지하는 지
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