[특허]박막의 결함밀도 검사 장치 및 검사 방법

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박막의 결함밀도 검사 장치 및 검사 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G01N-021/84 G01N-021/01 G01N-021/64 G01N-021/88
출원번호	10-2017-0046643 (2017-04-11)
공개번호	10-2018-0114676 (2018-10-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170046643
발명자 / 주소	구은회 / 대전광역시 유성구 엑스포로 *, 동 호 (전민동, 엑스포아파트) 김현철 / 경기도 김포시 통진읍 하성로 -*
출원인 / 주소	한국세라믹기술원 / 경상남도 진주시 소호로 *** (충무공동, 부속건물세라믹소재종합지원센터)
대리인 / 주소	특허법인세원
심사청구여부	있음 (2017-04-11)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록 ▼

배리어막 등 박막의 검사를 위한 시료가 놓이는 테이블, 시료에서 나온 광이 통과하여 영상광을 이루도록 하는 광학계, 광학계를 통과한 영상광을 감지하여 영상 신호를 발생시키는 촬상소자, 프로그램을 가동하여 촬상소자에서 얻은 영상 신호를 처리하여 시료의 결함 정도를 측정하는 컴퓨터를 구비하고, 테이블은 시료를 이동시켜 시료의 각 해당 영역의 영상광을 획득함으로써 시료의 검사 대상 영역 전체에 영상 신호를 얻을 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 결함밀도 검사 장치와 이 검사 장치를 이용하여 박막의 결함 정도를 측정할 수 있는 검사 방법이 개시된다. 본 발명에 따르면 결함을 통과한 수증기 등 문제 가스가 박막 하부의 형광소재막의 형광기능을 활성화시키는 현상을 직접 측정하여 박막 자체의 영상을 얻고 직접 분석하는 검사 방법보다 박막의 결함 정도를 보다 정확하게 측정할 수 있다.

대표청구항 ▼

시료가 놓이는 테이블, 시료에서 나온 광이 통과하여 영상광을 이루도록 하는 광학계, 상기 광학계를 통과한 영상광을 감지하여 영상 신호를 발생시키는 촬상소자, 프로그램을 가동하여 상기 촬상소자에서 얻은 영상 신호를 처리하여 상기 시료의 결함 정도를 측정하는 컴퓨터를 구비하고,상기 시료는 박막 검사를 위하여 기판에 수분과 닿아 형광활성화하는 형광소재막, 박막을 차례로 적층하고 주변을 기밀성 경화 수지로 씰링한 것이며,상기 테이블은 시료를 이동시켜 시료의 각 해당 영역의 영상광을 획득함으로써 상기 시료의 검사 대상 영역 전체에 영상 신호

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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