최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2017-0046643 (2017-04-11) | |
공개번호 | 10-2018-0114676 (2018-10-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170046643 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2017-04-11) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
배리어막 등 박막의 검사를 위한 시료가 놓이는 테이블, 시료에서 나온 광이 통과하여 영상광을 이루도록 하는 광학계, 광학계를 통과한 영상광을 감지하여 영상 신호를 발생시키는 촬상소자, 프로그램을 가동하여 촬상소자에서 얻은 영상 신호를 처리하여 시료의 결함 정도를 측정하는 컴퓨터를 구비하고, 테이블은 시료를 이동시켜 시료의 각 해당 영역의 영상광을 획득함으로써 시료의 검사 대상 영역 전체에 영상 신호를 얻을 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 결함밀도 검사 장치와 이 검사 장치를 이용하여 박막의 결함 정도를 측정할 수 있는
시료가 놓이는 테이블, 시료에서 나온 광이 통과하여 영상광을 이루도록 하는 광학계, 상기 광학계를 통과한 영상광을 감지하여 영상 신호를 발생시키는 촬상소자, 프로그램을 가동하여 상기 촬상소자에서 얻은 영상 신호를 처리하여 상기 시료의 결함 정도를 측정하는 컴퓨터를 구비하고,상기 시료는 박막 검사를 위하여 기판에 수분과 닿아 형광활성화하는 형광소재막, 박막을 차례로 적층하고 주변을 기밀성 경화 수지로 씰링한 것이며,상기 테이블은 시료를 이동시켜 시료의 각 해당 영역의 영상광을 획득함으로써 상기 시료의 검사 대상 영역 전체에 영상 신호
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.