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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0066019 (2017-05-29) | |
공개번호 | 10-2018-0130208 (2018-12-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170066019 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
일 실시예에 따른 화학기계연마 공정을 위한 이류체 전해 슬러리 노즐 시스템은, 슬러리 공급 노즐 및 압축가스 공급 노즐을 포함하는 이류체 노즐 본체 및 상기 이류체 노즐 본체의 토출구에 장착되어 슬러리를 이온화시키는 전해 노즐을 포함할 수 있다.
슬러리가 공급되는 슬러리 공급 노즐 및 상기 슬러리에 대하여 압축공기를 공급하는 압축가스 공급 노즐을 포함하는 이류체 노즐 본체; 및 상기 이류체 노즐 본체의 토출구에 장착되어 슬러리를 이온화시키는 전해 노즐;을 포함하는 화학기계연마 공정을 위한 이류체 전해 슬러리 노즐 시스템.
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