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연합인증

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화학기계연마 공정을 위한 이류체 전해 슬러리 노즐 시스템 및 이를 이용한 공급방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B24B-057/02
  • B24B-037/04
  • H01L-021/306
출원번호 10-2017-0066019 (2017-05-29)
공개번호 10-2018-0130208 (2018-12-07)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170066019
발명자 / 주소
  • 정해도 / 부산광역시 금정구 금강로 ***, ***동 ****호 (구서동, 롯데캐슬골드*단지)
  • 이다솔 / 경상남도 김해시 삼계로 **, ***동 ***호 (삼계동, 구지마을*단지푸르지오아파트)
  • 이종우 / 부산광역시 부산진구 백양대로 ***번길 ***, ***동 ****호 (개금동, 개금우드빌)
  • 정선호 / 부산광역시 남구 자유평화로**번길 ** (문현동)
출원인 / 주소
  • 부산대학교 산학협력단 / 부산광역시 금정구 부산대학로**번길 * (장전동, 부산대학교)
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

일 실시예에 따른 화학기계연마 공정을 위한 이류체 전해 슬러리 노즐 시스템은, 슬러리 공급 노즐 및 압축가스 공급 노즐을 포함하는 이류체 노즐 본체 및 상기 이류체 노즐 본체의 토출구에 장착되어 슬러리를 이온화시키는 전해 노즐을 포함할 수 있다.

대표청구항

슬러리가 공급되는 슬러리 공급 노즐 및 상기 슬러리에 대하여 압축공기를 공급하는 압축가스 공급 노즐을 포함하는 이류체 노즐 본체; 및 상기 이류체 노즐 본체의 토출구에 장착되어 슬러리를 이온화시키는 전해 노즐;을 포함하는 화학기계연마 공정을 위한 이류체 전해 슬러리 노즐 시스템.

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