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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0066823 (2017-05-30) | |
공개번호 | 10-2018-0131667 (2018-12-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170066823 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 복수의 레이저 빔을 생성하는 복수의 고체 레이저 광원, 레이저 빔을 전달하는 광원계, 복수의 레이저 빔이 조사되는 기판을 거치하는 기판 스테이지를 포함하는 고체 레이저 결정화 장치에 대한 것이다.
제1 레이저빔을 생성하는 제1 레이저 광원;제2 레이저빔을 생성하는 제2 레이저 광원;제3 레이저빔을 생성하는 제3 레이저 광원;상기 제1 내지 제3 레이저 빔을 전달하는 광원계;상기 제1 내지 제3 레이저 빔이 조사되는 기판을 거치하는 기판 스테이지;를 포함하고,상기 제1 내지 제3 레이저 광원은 고체 레이저 매질을 포함하는 고체 레이저 결정화 장치.
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