초록

본 발명은 복수의 레이저 빔을 생성하는 복수의 고체 레이저 광원, 레이저 빔을 전달하는 광원계, 복수의 레이저 빔이 조사되는 기판을 거치하는 기판 스테이지를 포함하는 고체 레이저 결정화 장치에 대한 것이다.

대표청구항

제1 레이저빔을 생성하는 제1 레이저 광원;제2 레이저빔을 생성하는 제2 레이저 광원;제3 레이저빔을 생성하는 제3 레이저 광원;상기 제1 내지 제3 레이저 빔을 전달하는 광원계;상기 제1 내지 제3 레이저 빔이 조사되는 기판을 거치하는 기판 스테이지;를 포함하고,상기 제1 내지 제3 레이저 광원은 고체 레이저 매질을 포함하는 고체 레이저 결정화 장치.

제1 레이저빔을 생성하는 제1 레이저 광원;제2 레이저빔을 생성하는 제2 레이저 광원;제3 레이저빔을 생성하는 제3 레이저 광원;상기 제1 내지 제3 레이저 빔을 전달하는 광원계;상기 제1 내지 제3 레이저 빔이 조사되는 기판을 거치하는 기판 스테이지;를 포함하고,상기 제1 내지 제3 레이저 광원은 고체 레이저 매질을 포함하는 고체 레이저 결정화 장치.