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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2017-0087780 (2017-07-11) | |
| 공개번호 | 10-2017-0085999 (2017-07-25) | |
| 등록번호 | 10-1904130-0000 (2018-09-27) | |
| 우선권정보 | 미국(US) 61/906,303 (2013-11-19) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020170087780 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2017-07-11) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 등록 |
투명한 취성 기판으로부터 폐형들을 기계가공하고 릴리즈하기 위한 방법은 기판 내에 오리피스들의 패턴들을 드릴링하기 위하여 초고속 레이저 펄스들을 사용하는 단계를 포함한다. 오리피스들은 광음향 압축에 의해 형성되고 투명 기판 내에서 완전히 또는 부분적으로 확장한다. 투명 기판 내에 서로 떨어져 간격을 두는 오리피스들의 스크라이빙된 라인은 기판 내에 폐형 패턴을 포함한다. 폐형 패턴이 투명 기판으로부터 릴리즈될 때까지 상기 투명 기판 내에 서로 떨어져 간격을 두는 오리피스들의 스크라이빙된 라인 주위의 영역 내에 열원이 적용된다.
공작물로부터 폐형을 기계가공하고 릴리즈하는 방법으로서, 레이저 펄스들의 버스트들을 포함하는 제 1 레이저 빔을 제공함 - 상기 공작물은 상기 제 1 레이저 빔에 투명함 -;세로 빔 축을 따라 분포식 초점을 형성하도록 상기 제 1 레이저 빔을 초점화함;상기 분포식 초점의 적어도 일부가 상기 공작물 내부에 있도록 상기 공작물을 위치시킴 - 상기 레이저 펄스들의 버스트들은 상기 공작물 내부에 연속적인 레이저 필라멘트를 형성하기에 충분한 플루엔스를 가지며, 필라멘트는 상기 공작물 내부에 필라멘트를 따라 보이드를 생성함 -;폐형의 윤곽을 따
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