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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0089215 (2017-07-13) | |
공개번호 | 10-2019-0007779 (2019-01-23) | |
등록번호 | 10-2070249-0000 (2020-01-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170089215 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-07-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
강한 내구성을 가지는 소수성막을 포함하는 클리닝 기기가 개시된다. 상기 클리닝 기기는 기판, 상기 기판 상에 배열되는 적어도 하나의 전극, 상기 전극 상에 배열되는 절연막 및 상기 절연막 상에 배열되는 소수성막을 포함한다. 여기서, 상기 소수성막은 불소계 물질 및 실란계 물질을 함유한다.
기판;상기 기판 상에 배열되는 적어도 하나의 전극;상기 전극 상에 배열되는 절연막; 수십 나노미터의 두께를 가지도록 형성되며, 상기 절연막상에 배열되는 소수성막; 상기 전극에 미리 설정된 기준 주파수를 기준으로 고주파 교류 전압을 인가하는 전압 인가부; 및상기 기준 주파수를 기준으로 저주파 주기로 상기 인가되는 고주파 교류 전압을 온오프(on/off) 스위칭하여 한 주기내에 고주파 전압 및 저주파 전압을 모두 발생시키는 스위칭부를 포함하되, 상기 소수성막은 불소계 물질 및 실란계 물질을 포함하며, 액적과의 접촉각이 적어도 113도가
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