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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0089734 (2017-07-14) | |
공개번호 | 10-2019-0008484 (2019-01-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170089734 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-07-14) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
구조체 및 그것의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른구조체의 제조방법은 다음과 같다. 먼저, 제 1 표면 및 제 2 표면을 갖는기판을 제공한다. 상기기판의 제 1 표면의 소정 부분에 채널부를 형성한다. 상기 채널부가 구비된 상기기판의 제 1 표면에 보호막을 형성한다.
제 1 표면 및 제 2 표면을 갖는 정전 척 기판을 제공하는 단계;상기 정전 척 기판의 제 2 표면의 소정 부분에 채널부를 형성하는 단계; 및상기 채널부가 구비된 상기 정전 척 기판의 상기 제 2 표면에 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 정전 척 구조체 제조방법.
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