[특허]정전 척 구조체 및 그것의 제조방법

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정전 척 구조체 및 그것의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 H01L-021/67
출원번호	10-2017-0089734 (2017-07-14)
공개번호	10-2019-0008484 (2019-01-24)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170089734
발명자 / 주소	강창성 / 경기도 성남시 수정구 성남대로**번길 *호 (복정동) 이준호 / 경기도 용인시 수지구 진산로번길 , 진산마을 동 *호 (풍덕천동) 김남출 / 경기도 양평군 양평읍 중앙로번길 * 벽산블루밍단지아파트 동 **호
출원인 / 주소	주식회사 엘케이엔지니어링 / 경기도 화성시 동탄면 동탄기흥로 **
대리인 / 주소	김성남
심사청구여부	있음 (2017-07-14)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

구조체 및 그것의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른구조체의 제조방법은 다음과 같다. 먼저, 제 1 표면 및 제 2 표면을 갖는기판을 제공한다. 상기기판의 제 1 표면의 소정 부분에 채널부를 형성한다. 상기 채널부가 구비된 상기기판의 제 1 표면에 보호막을 형성한다.

대표청구항

제 1 표면 및 제 2 표면을 갖는 정전 척 기판을 제공하는 단계;상기 정전 척 기판의 제 2 표면의 소정 부분에 채널부를 형성하는 단계; 및상기 채널부가 구비된 상기 정전 척 기판의 상기 제 2 표면에 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 정전 척 구조체 제조방법.

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 정전척 및 이의 제조 방법 | 최진식, 조미나
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[일본] MANUFACTURING METHOD OF PLATE WITH PASSAGE, PLATE WITH PASSAGE, TEMPERATURE ADJUSTMENT PLATE, COLD PLATE, AND SHOWER PLATE | HANAMACHI TOSHIHIKO
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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