[특허]반도체 제조에 사용되는 면상 발열체 및 이의 제조방법

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반도체 제조에 사용되는 면상 발열체 및 이의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/67 H01L-021/324
출원번호	10-2017-0104152 (2017-08-17)
공개번호	10-2019-0019370 (2019-02-27)
등록번호	10-1993425-0000 (2019-06-20)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170104152
발명자 / 주소	고상기 / 경기도 수원시 장안구 덕영대로*번길 , *동 *호 (율전동, 성균관대역 서희스타힐스아파트 단지) 장병규 / 경기도 수원시 장안구 만석로번길 , *동 호 (정자동, 백설마을 현대.코오롱아파트) 견명옥 / 경기도 수원시 장안구 천천로번길 , 동 ***호(정자동, 대월마을 주공아파트)
출원인 / 주소	에스케이씨 주식회사 / 경기도 수원시 장안구 장안로*번길 (정자동)
대리인 / 주소	제일특허법인(유)
심사청구여부	있음 (2017-08-17)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

세라믹 기판 상에 니켈계 합금 소재의 발열층 및 보호막을 형성하고, 발열층 소재에 특화된 조건으로 열처리하여 결정성을 향상시킴으로써, 종래의 면상 발열체들이 갖는 문제들을 쉽게 해결할 수 있다.이에 따라, 상기 면상 발열체는 박형이면서도 고온의 급속 가열 성능이 뛰어나고 열충격성과 같은 내열성이 우수하여, 반도체 제조 공정의 TSV(through-silicon via) 공정이나 패키징 공정에 사용되는 히터에 적용될 수 있다.

대표청구항

(a) 세라믹 소재의 기판; (b) 상기 기판 상에 형성되고 니켈계 합금 니켈-크롬 합금(NiCr)으로 구성된 발열층; 및(c) 상기 발열층 상에 형성되고 세라믹으로 구성된 보호막을 포함하는 면상 발열체로서,상기 발열층이 X선회절분석(XRD) 스펙트럼 상에서 0.15~0.4°의 반치폭(FWHM)을 갖는 결정 피크를 나타내는, 면상 발열체.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

[한국] 세라믹박막 발열체를 이용한 면상 발열장치 및 그 제조방법 | 김창열, 김홍진
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[일본] CERAMIC HEATER AND EVALUATING METHOD FOR RE POWDER USED FOR IT | TANAKA SATOSHI
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[일본] ENDLESS METAL BELT, FIXING BELT AND HEAT FIXING DEVICE | KISHINO KAZUO, SHU YOMIN, SASAKI KOJI, TAKAHASHI JUNICHI, MIYAGI MAKOTO, ARAI NOBUHIRO
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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