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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0104152 (2017-08-17) | |
공개번호 | 10-2019-0019370 (2019-02-27) | |
등록번호 | 10-1993425-0000 (2019-06-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170104152 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-08-17) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
세라믹 기판 상에 니켈계 합금 소재의 발열층 및 보호막을 형성하고, 발열층 소재에 특화된 조건으로 열처리하여 결정성을 향상시킴으로써, 종래의 면상 발열체들이 갖는 문제들을 쉽게 해결할 수 있다.이에 따라, 상기 면상 발열체는 박형이면서도 고온의 급속 가열 성능이 뛰어나고 열충격성과 같은 내열성이 우수하여, 반도체 제조 공정의 TSV(through-silicon via) 공정이나 패키징 공정에 사용되는 히터에 적용될 수 있다.
(a) 세라믹 소재의 기판; (b) 상기 기판 상에 형성되고 니켈계 합금 니켈-크롬 합금(NiCr)으로 구성된 발열층; 및(c) 상기 발열층 상에 형성되고 세라믹으로 구성된 보호막을 포함하는 면상 발열체로서,상기 발열층이 X선회절분석(XRD) 스펙트럼 상에서 0.15~0.4°의 반치폭(FWHM)을 갖는 결정 피크를 나타내는, 면상 발열체.
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