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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0104517 (2017-08-18) | |
공개번호 | 10-2019-0019495 (2019-02-27) | |
등록번호 | 10-1998749-0000 (2019-07-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170104517 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-08-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 진공 탈가스 시스템 및 진공 탈가스 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 복수의 진공형성부를 이용하여 진공조의 내부 공간에 진공을 형성하는 진공 탈가스 시스템 및 진공 탈가스 방법에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 진공 탈가스 시스템은 내부 공간에 진공이 형성되는 진공조; 상기 진공조와 연결되어 진공을 형성하는 제1 진공형성부; 제1 배기라인을 통해 상기 제1 진공형성부와 연결되어 상기 진공조 내에서 발생하는 배가스의 흡입을 위한 흡입력을 발생시키는 제2 진공형성부; 제2 배기라인을 통해 상기 제2 진공형성부와
내부 공간에 진공이 형성되는 진공조;상기 진공조와 연결되어 진공을 형성하는 제1 진공형성부;제1 배기라인을 통해 상기 제1 진공형성부와 연결되어 상기 진공조 내에서 발생하는 배가스의 흡입을 위한 흡입력을 발생시키는 제2 진공형성부;제2 배기라인을 통해 상기 제2 진공형성부와 연결되어 흡입된 상기 배가스가 배기되는 배출부;상기 제1 배기라인과 상기 제2 배기라인을 연결하여 서로 연통시키는 바이패스 라인;상기 제1 배기라인에서 상기 배가스의 경로를 상기 제2 진공형성부를 거치는 제1 경로와 상기 바이패스 라인을 통해 바로 상기 배출부로
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