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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0114648 (2017-09-07) | |
공개번호 | 10-2019-0027636 (2019-03-15) | |
등록번호 | 10-2019817-0000 (2019-09-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170114648 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-09-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체 제조 장비에 사용되는 쿼츠의 표면을 다른 물질로 용사 코팅하기 전 표면 처리를 하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 쿼츠를 준비하는 준비 단계와 상기 쿼츠의 표면에 약액을 공급하여 상기 쿼츠의 표면에 엠보싱을 형성하도록 화학 처리하는 화학 처리 단계와 상기 화학 처리 단계 이후에 상기 쿼츠의 표면을 세정하는 세정 단계와 그리고 상기 쿼츠의 표면을 건조하는 건조 단계를 포함하며 상기 쿼츠는 반도체 제조 공정 중 플라즈마를 이용한 에칭 공정 또는 반도체 디퓨젼 공정에 사용되는 반도체 제조
반도체 제조 장비에 사용되는 쿼츠의 표면 처리 방법으로서,상기 쿼츠를 준비하는 준비 단계;상기 쿼츠의 표면에 약액을 공급하여 상기 쿼츠의 표면에 엠보싱을 형성하도록 화학 처리하는 화학 처리 단계;상기 화학 처리 단계 이후에 상기 쿼츠의 표면을 세정하는 세정 단계;상기 쿼츠의 표면을 건조하는 건조 단계 및상기 쿼츠의 표면을 세라믹으로 용사 코팅하는 단계를 포함하며,상기 용사 코팅된 쿼츠는 반도체 제조 공정 중 플라즈마를 이용한 에칭 공정 또는 반도체 디퓨젼 공정에 사용되는 반도체 제조 장비에 제공되고,상기 약액은 불산(HF), 산성불
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