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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2017-0116930 (2017-09-13) | |
| 등록번호 | 10-1814554-0000 (2017-12-27) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020170116930 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2017-09-13) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
웨이퍼 에지부와의 흡착력을 충분하게 확보하고, 웨이퍼가 정전척으로부터 탈리되는 속도를 높이며, 적층 및 소결에 의해 제조할 수 있는 에지전극이 내장된 정전척 및 그 제조방법을 제시한다. 그 정전척 및 방법은 베이스와 접착된 복합 유전층을 포함하고, 복합 유전층은 히터 유전층 및 정전 유전층으로 구분되며, 정전 유전층에는 중심전극 및 에지전극으로 이루어진 흡착전극이 매립되고, 에지전극은 중심전극의 외측에 위치하고 중심전극과 평행하며, 중심전극보다 탑재된 웨이퍼에 가깝게 배치되고, 정전 유전층은 적층되어 소결에 의해 제조된다.
베이스 및 상기 베이스와 접착된 복합 유전층을 포함하고,상기 복합 유전층은 히터 유전층 및 정전 유전층으로 구분되며,상기 정전 유전층에는 중심전극 및 에지전극으로 이루어진 흡착전극이 매립되고, 상기 에지전극은 상기 중심전극의 외측에 위치하고 상기 중심전극과 평행하며, 상기 중심전극보다 탑재된 웨이퍼에 가깝게 배치되고,상기 중심전극 및 상기 에지전극 사이에는 제2 전기장(E2) 기울기가 형성되며, 상기 제2 전기장(E2) 기울기에 의해 상기 웨이퍼의 탈리속도가 조절되는 것을 특징으로 하는 에지전극이 내장된 정전척.
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