초록

본 발명은 대형 OLED 디스플레이(OLED display)를 롤러블(rollable) 형태로 구현하는, 플렉시블 OLED(flexible OLED)에 적용하기 위한 수분차단 필름에 관한 것으로서, 더욱이 기능성 코팅막이 다층으로 구성되어 있어도 매우 얇고 연성이 우수하며 크랙(crack)이 발생하지 않는 구조를 갖는 플렉시블 OLED 기판용 투명 배리어 필름 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 배리어 필름에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

외부면(101)에 하드코팅(Hard coating)층(20)이 형성된 고분자 필름(10)의 내부면(102) 위로 제1 습식코팅액을 도포하여 평탄화 및 1차 수분차단 특성을 부여하는 언더코팅(Under coating)층(30)을 형성하는 단계(S10)와,상기 언더코팅(Under coating)층(30) 위로 30 ~ 100 nm의 ZrO2 막과 10 ~ 30 nm의 ZrN 막을 순차적으로 진공증착하여 2차 수분차단 특성을 부여하는 2층막 구조의 제1 ZrO2/ZrN 무기막층(40)을 형성하는 단계(S20)와,플라즈마 중합장치를 이용하

외부면(101)에 하드코팅(Hard coating)층(20)이 형성된 고분자 필름(10)의 내부면(102) 위로 제1 습식코팅액을 도포하여 평탄화 및 1차 수분차단 특성을 부여하는 언더코팅(Under coating)층(30)을 형성하는 단계(S10)와,상기 언더코팅(Under coating)층(30) 위로 30 ~ 100 nm의 ZrO2 막과 10 ~ 30 nm의 ZrN 막을 순차적으로 진공증착하여 2차 수분차단 특성을 부여하는 2층막 구조의 제1 ZrO2/ZrN 무기막층(40)을 형성하는 단계(S20)와,플라즈마 중합장치를 이용하여 상기 제1 ZrO2/ZrN 무기막층(40) 위로 CxHy 단분자(CxHy monomer)를 10 ~ 100 nm 두께로 진공도포하여 유기막층(50)을 형성하는 단계(S30)와,상기 유기막층(50) 위로 30 ~ 100 nm의 ZrO2 막과 10 ~ 30 nm의 ZrN 막을 순차적으로 진공증착하여 3차 수분차단 특성을 부여하는 2층막 구조의 제2 ZrO2/ZrN 무기막층(60)을 형성하는 단계(S40)와,상기 제2 ZrO2/ZrN 무기막층(60) 위에 제2 습식코팅액으로 습식막 코팅하여 3차 수분차단 특성, 내스크래치성 및 광특성을 부여하는 탑코팅층(70)을 형성하는 단계(S50)를 포함하여 이루어지는 것임을 특징으로 하는 플렉시블 OLED 기판용 투명 배리어 필름 제조방법.