최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2017-0126948 (2017-09-29) | |
공개번호 | 10-2019-0037512 (2019-04-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170126948 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 반도체 제조공정의 폭발성 폐 가스 처리장치에 관한 것으로, 반도체 및 디스플레이 사업장에서 발생하는 폭발성 가스 수소, 암모니아 그리고 전구체로 사용되는 실란, 디클로로실란 가스 등을 플라즈마 토치를 활용하여 안전하게 분해하고, 기존에 플라즈마 토치 후 습식으로 냉각하는 방법과 달리 본 발명에서는 플라즈마 토치 연소 후 배기가스와의 열 교환방식으로 냉각시킴은 물론 전체 시스템 효율을 높이기 위하여 축열재를 처리장치에 추가하여 배기가스의 폐열 회수율을 높여서 에너지 효율성 및 폭발성 가스 분해 효율을 높일 수 있다.
반도체 제조공정에서 발생하는 폐 가스를 분해하고, 배기가스로부터 폐열을 회수하여 외부로 배출하는 반도체 제조공정의 폭발성 가스 처리장치로서,폐 가스가 유입되는 폐 가스 공급 부와, 산화제가 유입되는 산화제 공급 부와, 상기 폐 가스 공급 부를 흐르는 폐 가스를 가열하기 위한 제1 열교환 부와, 상기 산화제 공급 부를 흐르는 산화제를 가열하기 위한 제2 열교환 부를 구비하는 열교환 유닛;폐 가스를 연소하여 분해하기 위하여 상기 폐 가스 공급 부로부터 공급된 폐 가스와 상기 산화제 공급 부로부터 공급된 산화제가 혼입되는 연소 챔버;음전
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.