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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0133510 (2017-10-13) | |
공개번호 | 10-2019-0041813 (2019-04-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170133510 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
보호막 형성용 시트가 개시되며, 상기 보호막 형성용 시트는, 열경화성을 갖는 보호막 형성층; 및 일면이 상기 보호막 형성층의 타면에 연결되고, 타면이 상기 웨이퍼에 부착되는 접착성 수지층을 포함하되, 상기 보호막 형성층은 열경화 온도보다 높은 유리전이온도를 가지고, 상기 접착성 수지층은 상기 열경화 온도보다 낮은 유리전이온도 및 상기 보호막 형성층보다 얇은 두께를 가진다.
웨이퍼에 부착되는 보호막 형성용 시트에 있어서,열경화성을 갖는 보호막 형성층; 및일면이 상기 보호막 형성층의 타면에 연결되고, 타면이 상기 웨이퍼에 부착되는 접착성 수지층을 포함하되,상기 보호막 형성층은 열경화 온도보다 높은 유리전이온도를 가지고,상기 접착성 수지층은 상기 열경화 온도보다 낮은 유리전이온도 및 상기 보호막 형성층보다 얇은 두께를 가지는 것인, 보호막 형성용 시트.
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