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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0135158 (2017-10-18) | |
등록번호 | 10-1859395-0000 (2018-05-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170135158 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-10-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 도금장치에 관한 것으로서, 특히 전기도금장치에서 기판에 균일한 도금층을 형성하고, 기판에 인가되는 전류정보를 유선으로 안정적으로 송신할 수 있는 기판 도금장치에 관한 것이다.본 발명의 기판 도금장치는, 내부에 기판이 배치되는 도금조와; 상기 도금조의 내부에 배치되는 양극판과; 상기 도금조의 외부에 배치되는 메인급전레일과; 일단이 상기 메인급전레일에 결합되고, 상기 메인급전레일을 따라 이동하는 행거와; 상단이 상기 행거에 결합되고, 클램프에 의해 기판을 파지하는 지그와; 상기 행거에 장착되어 상기 기판에 인가되는 전류
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