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연합인증

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질화물 후막을 포함하는 열 전달 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-033/64
출원번호 10-2017-0148457 (2017-11-09)
공개번호 10-2019-0052768 (2019-05-17)
등록번호 10-1981934-0000 (2019-05-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170148457
발명자 / 주소
  • 한병동 / 경상남도 창원시 성산구 삼정자로 **, ***동 ***호(성주동, 유니온빌리지)
  • 최종진 / 부산광역시 해운대구 우동 ****-* 더샵해운대아델리스아파트 ***동 ****호
  • 안철우 / 경상남도 창원시 진해구 이동 ***-*번지 세명약국 *층
  • 김종우 / 경상남도 창원시 성산구 원이대로 *** 트리비앙아파트 ***-***
출원인 / 주소
  • 한국기계연구원 / 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
대리인 / 주소
  • 특허법인(유한) 대아
심사청구여부 있음 (2017-11-09)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

치밀하고 두께가 두꺼운 고열전도성의 질화물 후막을 포함하는 열 전달 시스템에 대하여 개시한다. 본 발명의 제1실시예에 따른 열 전달 시스템은 금속히트싱크; 및 상기 금속히트싱크 상에 형성되는 질화물 후막;을 포함하고, 상기 질화물 후막의 산소 함량은 3중량% 이하인 것을 특징으로 한다.

대표청구항

금속히트싱크; 및상기 금속히트싱크 상에 질화물 그래뉼로부터 형성되는 질화물 후막;을 포함하고,상기 질화물 후막의 산소 함량은 3중량% 이하인 것을 특징으로 하는 열 전달 시스템.

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