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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0157117 (2017-11-23) | |
등록번호 | 10-1842590-0000 (2018-03-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170157117 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 유리전이온도 전후로 가열해서 1차 휨 교정을 행한 몰드 웨이퍼를 이송하는 과정에서 휜 몰드 웨이퍼의 휨 방향과 반대방향으로 더 크게 휘어지게 물리적으로 가압한 채 눌려 2차 휨 교정과 함께 주변 온도로 경화도 시키는 패널 타입 몰드 웨이퍼의 휨 교정장치에 관한 것이다.
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