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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0162475 (2017-11-30) | |
공개번호 | 10-2019-0063580 (2019-06-10) | |
등록번호 | 10-2047662-0000 (2019-11-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170162475 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 직접질화법에 의한 질화규소 생성 후, 저온에서의 열처리를 통해, 소결 시 우수한 기계적 물성이 나타나는 질화규소 분말의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 제조된 질화규소 분말은 α상 질화규소 함량이 높아 소결성이 우수하고, 산소 함량이 낮아 소결 시 고온에서의 기계적 강도가 높으며, 종래의 질화규소에 비하여 소결 시 3점 굽힘 강도 등 기계적 물성이 더욱 개선된 것을 특징으로 한다.
규소 분말을 0.1 내지 1atm의 질소-수소 혼합 가스 분위기에서 1400 내지 1750℃의 온도로 3 내지 10시간 가열하여 질화규소를 생성하는 단계;상기 질화규소를 0.1 내지 0.5atm의 질소 가스 분위기에서 1 내지 5℃/min의 승온속도로 승온하여 700 내지 900℃의 온도에서 1 내지 3시간 동안 열처리하여 질화규소 분말을 제조하는 단계; 및상기 질화규소 분말에 소결조제를 첨가하여 질소 가스 분위기에서 1600 내지 1900℃의 온도로 3 내지 5시간 소성하여 질화규소 소결체를 제조하는 단계를 포함하고,상기 질소-수
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