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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0172943 (2017-12-15) | |
공개번호 | 10-2019-0072701 (2019-06-26) | |
등록번호 | 10-2554342-0000 (2023-07-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170172943 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-11-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 실시예는 에프세타 렌즈에 관한 것이다.본 발명의 실시예에 의한 에프세타 렌즈는, 회절 광학 소자 및 복수의 구면 렌즈들을 포함한다. 상기 회절 광학 소자는, 일면 상에 배치된 3 레벨 이상의 멀티 레벨 회절 구조체를 포함하며, 레이저 빔이 진행하는 경로 상에서 상기 구면 렌즈들에 앞서 제1 요소로서 배치된다.
회절 광학 소자 및 복수의 구면 렌즈들을 포함하며,상기 회절 광학 소자는, 일면 상에 배치된 3 레벨 이상의 멀티 레벨 회절 구조체를 포함하며, 레이저 빔이 진행하는 경로 상에서 상기 구면 렌즈들에 앞서 제1 요소로서 배치되고, 상기 구면 렌즈들은, 평면-오목 렌즈로서 상기 회절 광학 소자에 인접한 제1 렌즈를 포함하고, 상기 구면 렌즈들은, 메니스커스 렌즈로서의 제2 렌즈, 오목-볼록 렌즈로서의 제3 렌즈, 및 볼록-볼록 렌즈로서의 제4 렌즈를 더 포함하며,상기 제1 내지 제4 렌즈는 상기 회절 광학 소자의 후단에 순차적으로 배치
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